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分子泵在真空气路中的典型应用

  • 时间: 2016-11-7 18:28:25
 

分子泵与扩散泵的排气气路设计存在一些差别,以下是分子泵气路典型应用范例和应用说明。

 

 

简单分子泵气路方案(右图)

一般用于测试分子泵性能或各种科学检测设备中,其应用特征是真空室内设施以及材料相对固定不变,无须经常打开真空室进行室内操作。如果前级使用油介质的旋片机械泵,应安装隔断放气阀。隔断放气阀必须与前级泵联动,以确保机械泵停电后,油蒸气甚至油液不会被吸入分子泵。有些旋片机械泵内自带隔断放气阀,以避免长期使用后,前级管路遍布油液、污染严重。

带有预抽(旁抽)功能的分子泵气路方案(中图)

一般用于真空室开启频繁的设备当中。分子泵在使用中应尽量避免反复启动。反复的启动分子泵,不但耽误时间,而且会导致分子泵频繁经过谐振区,加速对分子泵抽承的磨损。所以当开启真空室的时候,可关闭闸板阀和两个隔断阀,而后打开充气阀充气,气压恢复后,打开真空室进行各种应用操作,此时分子泵和前级泵处于正常运转状态。当再次给真空室抽真空的时候,先打开预抽隔断阀,用前级泵直接给真空室排气,当真空度达到前级泵极限以及分子泵安全工作气压时,关闭预抽阀,打开隔断阀和闸板阀,由此完成高真空的再次排气过程操作。

带有恒压控制的分子泵气路方案(左图)

应用于真空室需要充气、恒压的设备中,此类设备一般需要给真空室充入一些工艺气体,并保持一定的低气压。此时可关闭闸板阀,打开恒压气路,调整调节阀降低排气速度。恒压截止阀能避免频繁开闭调节阀,调节阀调整完毕后,一般靠截止阀来控制恒压气路的开闭。

阀门选配安装注意事项,一般的真空阀门,其密封方向是有区别的,应正确区分密封方向,不能安反,否则会造成阶段性漏气甚至无法获得正常真空指标:

l  闸板阀和隔断阀的密封面应在分子泵侧,当分子泵与真空室之间压差很大时(如预抽过程前后),能确保阀门不会在强气压差下被顶开。

l  旁抽阀密封面应在前级泵侧,当真空室恢复大气压时,能确保旁抽阀不会被大气压顶开。

l  隔断放气阀的密封面应在隔断阀和预抽阀一侧(其放气口在前级泵侧)。

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